Contributed article on recent research results was published in Ritsumeikan University Kiyukai News.
- Contributed article on the recent research results of MEMS devices using self-assembled electrets was published in Ritsumeikan University Kiyukai News (in Japanese).
Authors:Daisuke Yamane
Title:「IoTセンサ応用に向けたMEMS研究開発~半導体プロセスで製造可能なエレクトレットMEMS素子~」
Journal:Ritsumeikan University Kiyukai News, No. 148, November 15 (2023).
URL:機友会ニュースデジタル版第148回 山根大輔 先生「IoTセンサ応用に向けたMEMS研究開発~半導体プロセスで製造可能なエレクトレットMEMS素子~」 | 立命館大学機友会 (rits-kiyukai.com)