2024-05-10 / Last updated : 2024-05-14 d_yamane Media Contributed article on research results of Electret-MEMS was published in Clean Technology. Authors:山根 大輔、田中 有弥Title:「自己組織化エレクレットとMEMSの集積化技術」Journal:クリーンテクノロジー,日本工業出版,2024年5月号,Vol. 34, No. 5, pp. 62-65.