Contributed article on research results of Electret-MEMS was published in Clean Technology.
Authors:山根 大輔、田中 有弥
Title:「自己組織化エレクレットとMEMSの集積化技術」
Journal:クリーンテクノロジー,日本工業出版,2024年5月号,Vol. 34, No. 5, pp. 62-65.
Authors:山根 大輔、田中 有弥
Title:「自己組織化エレクレットとMEMSの集積化技術」
Journal:クリーンテクノロジー,日本工業出版,2024年5月号,Vol. 34, No. 5, pp. 62-65.