Contributed article on research results of Electret-MEMS was published in Clean Technology.

Authors：山根大輔、田中有弥
Title：「自己組織化エレクレットとMEMSの集積化技術」
Journal：クリーンテクノロジー，日本工業出版，2024年5月号，Vol. 34, No. 5, pp. 62-65.