エレクトレット×MEMSの研究成果に関する寄稿がクリーンテクノロジーに掲載されました。


著者:山根 大輔、田中 有弥
タイトル:「自己組織化エレクレットとMEMSの集積化技術」
掲載誌:クリーンテクノロジー,日本工業出版,2024年5月号,Vol. 34, No. 5, pp. 62-65.