エレクトレット×MEMSの研究成果に関する寄稿がクリーンテクノロジーに掲載されました。

著者：山根 大輔、田中 有弥
タイトル：「自己組織化エレクレットとMEMSの集積化技術」
掲載誌：クリーンテクノロジー，日本工業出版，2024年5月号，Vol. 34, No. 5, pp. 62-65.