MSC/BMEC装置使用者リスト|MSC/BMEC User List

BKCテクノコンプレクス内にあるMEMS関連クリーンルームはMSCあるいはBMECの装置使用者リストです。
・装置を予約するにはライセンスが必要です。
・予約不要の装置(予約表にない装置)は誰でも使用可能です。
・ライセンス取得には,ラボ内ライセンス所有者の講習後,ラボ外ライセンス所有者の前で実演が必要です。ライセンス取得希望の際は山根にご相談ください。

注)2020年度はコロナ禍のため,通常とは異なる利用形態になります。詳細は教員とご相談ください。

装置|Equipment場所|Place使用者|Userライセンス取得者|Instructor with User License
露光機(ユニオン)MSC澤田,端山澤田,端山
アッシャーMSC澤田ライセンス不要|License is not required
アルファステップMSC澤田,端山
簡易マスク作製機MSC澤田,端山
スピンコータMSC澤田,端山
現像用ドラフト
(イエロールーム内)
MSC澤田,端山
有機ドラフトBMEC澤田,端山

BMECは2020年4月に設立された組織であり,旧BMDC(バイオメディカルデバイス研究センター)と旧MSC(マイクロシステムセンター)を含む。
ただし,現状は旧BMDC⇒BMEC,旧MSC⇒MSCとして,区別している。