酸化炉の使い方
|How to use oxidation furnace?

Siウェハに酸化膜を成膜する際は,MSCの酸化炉を利用できます。

以下,ラボメンバーが作成した酸化炉のマニュアル

マニュアル名|Items作成者(作成時の学年)作成日
酸化炉マニュアル|Oxidation Furnace Manual端山 航平(B4)2020/12/24