酸化炉の使い方
｜How to use oxidation furnace?

Siウェハに酸化膜を成膜する際は，MSCの酸化炉を利用できます。

以下，ラボメンバーが作成した酸化炉のマニュアル

マニュアル名｜Items作成者（作成時の学年）作成日
酸化炉マニュアル｜Oxidation Furnace Manual端山 航平（B4）2020/12/24