酸化炉の使い方
|How to use oxidation furnace?
Siウェハに酸化膜を成膜する際は,MSCの酸化炉を利用できます。
以下,ラボメンバーが作成した酸化炉のマニュアル
マニュアル名|Items | 作成者(作成時の学年) | 作成日 |
---|---|---|
酸化炉マニュアル|Oxidation Furnace Manual | 端山 航平(B4) | 2020/12/24 |
Siウェハに酸化膜を成膜する際は,MSCの酸化炉を利用できます。
以下,ラボメンバーが作成した酸化炉のマニュアル
マニュアル名|Items | 作成者(作成時の学年) | 作成日 |
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酸化炉マニュアル|Oxidation Furnace Manual | 端山 航平(B4) | 2020/12/24 |