エマルジョンマスクの作り方
|How to make emulsion masks?

フォトリソグラフィに用いるフォトマスクには,主に以下の種類があります。

種類
Mask
フィルムマスク
Film Mask
エマルジョンマスク
Emulsion Mask
クロムマスク
Chrome Mask
基板
Substrate
ポリエステルソーダライムガラスソーダライムガラス
/人工石英
基板厚
Substrate Thickness
175 μm1.8~5.0 mm1.0~5.0 mm
マスク材
Mask Material
銀塩ゼラチン乳剤
Emulsion
銀塩ゼラチン乳剤
Emulsion
クロム
Chrome
マスク材膜厚
Mask Thickness
7~8 μm5~6 μm100~125 nm
最小ライン幅
Min. Line Width
(一般的な値。
自作の場合は異なる)
~ 30 μm~ 10 μm~ 1 μm
コスト
Cost


低|Low



中|Medium
(2.5inch角・30枚で
15,000円程度)

高|High
(パターン作製込みで,
5inch角・1枚で
数万~10万強程度。)
その他の特徴
Others
軽量で柔軟性あり

フィルムマスクより
高精度,高寸法安定性
高精細,高精度
石英材にすると温度変化に
対しても寸法が安定

山根研ではエマルジョンマスクを自作できます。
マスク作成用の露光機はMSC(マイクロマシンセンター),現像スペースはエクセル3の2階にあります。

以下,ラボメンバーが作成したLASIの操作マニュアル

マニュアル名|Items作成者(作成時の学年)作成日
エマルジョンマスク作製マニュアル
|Emulsion Mask Manufacturing Manual
澤田 宗興(B4)2020/11/10