国内会議発表|Domestic Conferences

  1. 川島 康介, 澤田 宗興, 田村 健太郎, 端山 航平, 山根 大輔,
    「外付エレクトレット型MEMSエナジーハーベスタの小型化の検討」
    令和2年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, オンライン開催, 2020年7月6日-7日, MSS-20-30, pp.49-52.(口頭)
  2. 遠山 幸也, 本間 浩章, 年吉 洋, 山根 大輔,
    「閾値自己補償整流昇圧回路による振動発電素子の実行帯域向上」
    令和2年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, オンライン開催, 2020年7月6日-7日, MSS-20-31, pp.53-56.(口頭)
  3. 曽根 正人, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉
    「貴金属めっき材料の結晶組織制御とその医用MEMS デバイスへの応用」
    日本金属学会 第166回講演大会, 2020年3月17日-19日, 東京工業大学 大岡山キャンパス(口頭)
  4. Yu-an Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    「Electrodeposited High Strength Au-TiO2 Nano Composite Film for MEMS Devices」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日-15日, 上智大学 四谷キャンパス [15a-PB3-4].(ポスター)
  5. 入谷 友樹, 新田京太朗, Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    「Au-Pd合金膜の電気メッキとその機械的特性」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日-15日, 上智大学 四谷キャンパス [15a-PB3-5].(ポスター)
  6. 渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    「ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日-15日, 上智大学 四谷キャンパス [14p-A305-11].(口頭)
  7. 市川 崇志, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    「ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討」
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術, 2020年3月12日-15日, 上智大学 四谷キャンパス [14p-A305-11].(口頭)
  8. 古賀 達也, 市川 崇志, 田中 直登, 緒方 大樹, 大良 宏樹, 山根 大輔, 石原 昇, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 町田 克之, 三宅 美博, 益 一哉,
    「微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討」
    第11回集積化MEMSシンポジウム, 2019年11月19日-11月21日, アクトシティ浜松.[19pm4-A-3](口頭)
  9. 市川 崇志, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 石原 昇, 伊藤 浩之, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価 」
    第11回集積化MEMSシンポジウム, 2019年11月19日-11月21日, アクトシティ浜松.[19pm4-A-4](口頭)
  10. 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ」
    第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2019年11月19日-11月21日, アクトシティ浜松.[19am3-PS3-21](ポスター)
  11. 市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉
    「Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)」
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年9月18日-21日, 北海道大学 札幌キャンパス [19a-E304-7].(口頭)
  12. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討」
    令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 東京工業大学すずかけ台キャンパス, 2019年7月1日-2日, MSS-19-26, pp.67-72.(口頭).
  13. 山根 大輔
    「Energy Harvesters for Autonomous Wireless Sensors in True IoT Society」
    Nature創刊150周年記念シンポジウム「日本の科学の未来」, ポスターセッション“Your vision” 「社会へ貢献するあなたの研究ビジョン」, 2019年4月4日, 東京大学 本郷キャンパス 安田講堂 (ポスター+受賞講演)
  14. 渥美 賢, 乙部 翔太, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    「積層メタル技術によるピラー型容量検出電極の検討」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日-12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-1].(口頭)
  15. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    「3軸Au錘MEMS加速度センサにおける平行平板型電極の検討」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日-12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-2].(口頭)
  16. 渡邊 瞳, 鈴木 拓真, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「Ti/Au微小カンチレバーの温度依存性への積層構造の影響」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日-12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [11a-W934-3].(口頭)
  17. 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    「Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日-12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-9].(ポスター)
  18. 鈴木 康介, Ken Hashigata, 浅野 啓介, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「微小曲げ試験による金材料の機械的強度のサンプル形状効果」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日-12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-10].(ポスター)
  19. 新田 京太朗, Tang Haochun, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製」
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・装置技術, 2019年3月9日-12日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [12a-PB3-11].(ポスター)
  20. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「Au単一錘平行平板型3軸MEMS加速度センサの検討」
    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(センサ・マイクロマシン部門大会), 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[30am3-PLN-89](ポスター)
  21. 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討」
    第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(センサ・マイクロマシン部門大会), 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[01pm1-PLN-229](ポスター)
  22. 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ」
    応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第10回集積化MEMSシンポジウム, 2018年10月30日-11月1日, 札幌市民交流プラザ.[31pm1-C-4](口頭)
  23. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究 」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日-21日, 名古屋国際会議場 [18a-233-6].(口頭)
  24. 市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「高分解能3軸シングルAu錘平行平板型MEMS加速度センサの検討」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日-21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-5].(ポスター)
  25. 古賀 達也, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「Au 錘厚膜化によるMEMS 加速度センサの高性能化の検討 」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日-21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-4].(ポスター)
  26. 折原 恒祐, 古賀 達也, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「MEMS加速度センサにおける時間ドメイン容量検出回路の統合設計モジュールの検討 」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日-21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-3].(ポスター)
  27. 乙部 翔太, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「分割電極型容量検出(SCD)方式を用いたAu錘3軸全差動MEMS加速度センサの検討」
    第79回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年9月18日-21日, 名古屋国際会議場 [18p-PB2-2].(ポスター)
  28. 古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「Au錘MEMS慣性センサモジュールの評価」
    平成30年電気学会E部門総合研究会, 奈良県文化会館, 2018年7月12日-13日, MSS-18-15, pp.12.(口頭).
  29. 乙部 翔太, 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 町田 克之, 益 一哉,
    「シングルAu錘3軸差動MEMS加速度センサの検討」
    平成30年電気学会E部門総合研究会, 奈良県文化会館, 2018年7月12日-13日, MSS-18-17, pp.12.(口頭).
  30. 古賀 達也, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, S24 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [19p-C101-10].(口頭)
  31. 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「高感度MEMS加速度センサのBrownian Noise評価に関する検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-11].(ポスター)
  32. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉, 飯田 慎一,
    「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの封止環境における温度依存性」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-10].(ポスター)
  33. 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解めっき法によるMEMS用金銅合金の作製及び機械的特性評価」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-9].(ポスター)
  34. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解めっき法によるTi/Au微小カンチレバーのヤング率評価」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-7].(ポスター)
  35. 新田 京太朗, 橘 航一朗, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「長期振動試験によるAu-Cu合金微小カンチレバーの構造安定性」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-6].(ポスター)
  36. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chun-Yi Chen, 名越 貴志, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電析制御による微小金カンチレバーの曲げ特性の改善」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-5].(ポスター)
  37. Ken Hashigata, Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    「Enhanced Mechanical Strength of Ti-Au Bi-Layered Micro-Cantilever For MEMS Accelerometers」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [E 17p-P7-4].(ポスター)
  38. 【招待講演】
    伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 三宅 美博, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, S24 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して, 2018年3月17日-20日, 早稲田大学西早稲田キャンパス [19p-C101-7].
  39. 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討」
    平成30年電気学会全国大会, 九州大学 伊都キャンパス, 2018年3月14日-16日, 3-158.(口頭)
  40. 高安 基大, 古賀 達也, 辻 一平, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討」
    平成30年電気学会全国大会, 九州大学 伊都キャンパス, 2018年3月14日-16日, 3-167.(口頭)
  41. 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「3軸MEMS加速度センサにおける単一Au錘および電極分割方式の検討」
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [02pm1-PLN-17].(Late News, ポスター)
  42. 折原 恒祐, 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「発振型容量検出回路を用いたAu錘CMOS-MEMS加速度センサの検討」
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [31am3-PLN-2].(Late News, ポスター)
  43. 新島 宏文, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「静電容量型MEMSセンサにおけるブラウニアン・ノイズ評価手法の検討(2)」
    第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PLN-8].(Late News, ポスター)
  44. 古賀達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討」
    応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01pm1-A-5].(口頭)
  45. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討」
    応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01pm1-A-6].(口頭)
  46. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS慣性センサ用弛張発振型容量検出回路 」
    応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01pm1-A-4].(口頭)
  47. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討」
    応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PM-11].(ポスター)
  48. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタルMEMS慣性センサの長期振動特性評価」
    応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 第9回集積化MEMSシンポジウム, 2017年10月31日-11月2日, 広島国際会議場 [01am2-PM-12].(ポスター)
  49. 古賀達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術によるMEMS慣性センサの傾斜時感度特性の検討」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日-8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-16].(ポスター)
  50. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術を用いた高感度MEMS慣性センサの傾斜計応用の検討」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日-8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-15].(ポスター)
  51. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS加速度センサ用高分解能容量検出回路」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日-8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-14].(ポスター)
  52. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 橘 航一朗, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉,
    「金めっきで形成したMEMS加速度センサの長期振動特性に関する検討」
    第78応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年9月5日-8日, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル [8p-PA2-13].(ポスター)
  53. 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術を用いた高感度MEMS 傾斜計の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2017年7月26日, 香川大学 林町キャンパス, P6.(ポスター)
  54. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS 加速度センサ用高分解能容量検出回路の評価」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2017年7月26日, 香川大学 林町キャンパス, P2.(ポスター)
  55. 曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉,
    「非侵襲性高感度医用デバイスのための貴金属材料の作製とその材料評価」
    第63回 国立大学共同利用・共同研究拠点 知の拠点セミナー, 2017年6月16日, 新丸の内ビルディング 京都大学東京オフィス.(口頭)
  56. 鈴木 拓真, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの温度依存性のシミュレーションの検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-11].(ポスター)
  57. 橘 航一朗, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auマイクロカンチレバーの疲労特性の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-12].(ポスター)
  58. 飯塚 和希, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「振動型エネルギーハーベスティングデバイスのためのSPICE系統合設計の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-13].(ポスター)
  59. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 中島 英亮, 寺西 美波, 陳 君怡, Tso-Fu Mark Chang, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(1)」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-14].(ポスター)
  60. 中島 英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「積層メタル技術によるTi/Auめっき構造体のヤング率評価(2)」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-15].(ポスター)
  61. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサにおける粘性定数の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-16].(ポスター)
  62. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-17].(ポスター)
  63. 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-18].(ポスター)
  64. 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 小西 敏文, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「移動体制御による慣性センサ評価系の構築」
    第64回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2017年3月14日-17日, パシフィコ横浜 [14p-P3-19].(ポスター)
  65. 【招待講演】
    曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之,
    「微小電子機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術 」
    第6回CSJ化学フェスタ, 2016年11月15日.
  66. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「微小曲げ試験による金めっきで作製した微小カンチレバーの機械的特性評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PS-020].(ポスター)
  67. 葭葉 将治, Chen Chun-Yi, 名越 貴志, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「高感度MEMS 加速度センサー用金電気めっきの変形挙動 および強度の結晶方位依存性評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PS-002].(ポスター)
  68. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解金めっき法により作製した金/チタン積層構造を有する微小カンチレバーの構造安定性の評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PS-017].(ポスター)
  69. 柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chu-Yi, 名越 貴志, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「微小引張試験片を用いたMEMS 用金めっき材料の機械的特性の評価」
    第33回センサ・マイクロマシンと応用シンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PS-003].(ポスター)
  70. 權田 惇晟, 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PM-006].(ポスター)
  71. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉,
    「RC発振器型高感度容量検出回路」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [24am2-E-4]. (口頭)
  72. 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS慣性センサのノイズ解析手法」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-007].(ポスター)
  73. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm4-PM-008].(ポスター)
  74. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「差動型積層メタルMEMS加速度センサの検討」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-003]. (ポスター)
  75. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1mG検出へ向けた積層メタルMEMS慣性センサ」
    第8回集積化MEMSシンポジウム, 2016年10月24日-26日, 平戸文化センター, 長崎県平戸市 [25pm2-PM-001].(ポスター)
  76. 【招待講演】
    曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 陳 君怡, 山根 大輔, 益 一哉, 町田 克之,
    「高感度MEMS加速度センサーのための金めっき材料の合成とその機械的特性評価」
    日本学術振興会・第172委員会, 2016年10月21日.
  77. 高安 基大, 道正 志郎, 伊藤 浩之, 石原 昇, 山根 大輔, 益 一哉,
    「RC発振器型容量検出回路の高感度化の検討」
    電子情報通信学会ソサイエティ大会, 2016年9月20日-23日, 北海道大学札幌キャンパス, 北海道. (口頭)
  78. Haochun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone,
    「High Mechanical Strength in Gold Films Electroplated with Supercritical Carbon Dioxide for MEMS Applications」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日-16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [15a-B10-13].(口頭)
  79. 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「CMOS-MEMS慣性センサにおける機械的ノイズの解析手法」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日-16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-1].(ポスター)
  80. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法(I)」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日-16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [15p-B10-8].(ポスター)
  81. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル差動型MEMS加速度センサの基礎検討」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日-16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-3]. (ポスター)
  82. 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 曽根 正人, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「1mG以下検出へ向けた積層メタルMEMS加速度センサの基礎検討」
    第77回応用物理学会秋季学術講演会, 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 2016年9月13日-16日, 新潟県新潟市 朱鷺メッセ [14p-P5-2].(ポスター)
  83. 高安 基大, 權田 惇晟, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「小型高感度MEMS慣性センサモジュールの試作評価」
    LSIとシステムのワークショップ, 2016年5月16日-2016年5月17日,東京大学 生産技術研究所 総合研究実験棟(An棟) 2階 コンベンションホール (ポスター)
  84. 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル構造を用いた MEMS 加速度センサのストッパーのロバスト性検討」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日-22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-17].(ポスター)
  85. 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日-22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-18].(ポスター)
  86. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「電解金めっきで作製した Ti/Au 微小カンチレバーの構造安定性」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日-22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-19].(ポスター)
  87. Haochun Tang,Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, and Masato Sone,
    「Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日-22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-20].(ポスター)
  88. 石塚 陽大, 柳田 佐理, Chang Tso-Fu Mark, Chen Chun-Yi, 小西 敏文, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ圧縮試験による金 / チタン積層構造の機械的特性評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日-22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-21].(ポスター)
  89. 浅野 啓介, 唐 浩峻, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ曲げ試験による電析金薄膜の機械的特性評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日-22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-23].(ポスター)
  90. 葭葉 将治, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人,
    「マイクロ圧縮試験による MEMS 用金電気めっきの機械的特性の評価」
    第63回応用物理学会春季学術講演会, 13.5 デバイス/集積化技術, 2016年3月19日-22日, 東京工業大学 大岡山キャンパス [21p-P17-25].(ポスター)
  91. 劉 安琪, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「CMOS低雑音オペアンプ設計法の検討」
    電子情報通信学会2016年総合大会, 2016年3月15日-18日, 九州大学伊都キャンパス, 福岡県福岡市, C-12-13.(口頭)
  92. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G検出へ向けた積層メタル3軸加速度センサの基礎検討」
    電子情報通信学会2016年総合大会, 2016年3月15日-18日, 九州大学伊都キャンパス, 福岡県福岡市, C-10-16.(口頭)
  93. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 29pm3-PM-5.(ポスター)
  94. 小西 敏文, 山根 大輔, 高安 基大, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いたCMOS-MEMS 加速度センサのためのゲイン制御センサ回路の検討」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 29pm2-D-4.(ポスター)
  95. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「移動体制御における慣性センサ適用性の検討」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 30pm1-D-6.(口頭)
  96. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G~20G集積化MEMS慣性センサ」
    第7回集積化MEMSシンポジウム, 2015年10月28日-30日, 新潟コンベンションセンター(朱鷺メッセ), 新潟県新潟市, 29pm3-PM-2.(ポスター)
  97. 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「Sub-1G~20G集積化MEMS加速度センサの基本評価」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-1].(ポスター)
  98. 小西 敏文, 山根 大輔, 高安 基大, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「ゲイン制御型CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-2].(ポスター)
  99. 佐布 晃昭, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之,
    「MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価」
    第76回応用物理学会秋季学術講演会・13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年9月13日-16日, 名古屋国際会議場 愛知県名古屋市 [15a-PB4-3].(ポスター)
  100. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, 小西 敏文, 松島 隆明, 町田 克之, 年吉 洋, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電解金めっきで作製したMEMSデバイスにおける動作構造安定性」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2015年7月31日, NHK放送技術研究所, 東京都世田谷区, IMWS-06-P7.(ポスター)
  101. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「MEMS慣性センサを用いた移動体制御の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2015年7月31日, NHK放送技術研究所, 東京都世田谷区, IMWS-06-P6. (ポスター)
  102. 高安 基大, 山根 大輔, 小西 敏文, 亀井 将太, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「慣性センサを用いた移動体制御の基礎検討」
    平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 九州大学医学部百年講堂, 2015年7月2日-3日, PHS-15-18/CHS-15-31/MSS-15-3/BMS-15-24, pp.5-8.(口頭)
  103. 寺西 美波, Chang Tso-Fu Mark, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    「電解金めっきで作製した微小カンチレバーの形状安定性評価」
    平成27年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 九州大学医学部百年講堂, 2015年7月2日-3日, PHS-15-20/CHS-15-33/MSS-15-5/BMS-15-26, pp.15-18.(口頭)
  104. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1G検出可能な3軸MEMS加速度センサの基礎検討」
    平成27年電気学会全国大会, 東京都市大学世田谷キャンパス, 2015年3月24日-26日, 13P-A3 3-113. (口頭)
  105. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討」
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 分科企画シンポジウム 13半導体, 2015年3月11日-14日, 東海大学 湘南キャンパス [12p-D15-3], pp. 17-189.(口頭)
  106. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「エネルギーハーべスティングデバイスの検討(5)」
    第62回応用物理学会春季学術講演会, 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術, 2015年3月11日-14日, 東海大学 湘南キャンパス [11p-A29-5], pp. 12-125.(ポスター)
  107. Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu,
    “MEMS for sensing sub-1G”
    The First Joint Workshop on Electrical Engineering between Tokyo Tech & KAIST, KAIST, Korea, Nov.21, 2014, pp. 19 (口頭)
  108. 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「回路シミュレータを用いたMEMSエネルギーハーベスティングデバイスの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C1].(口頭)
  109. 松島 隆明, 山根 大輔, 小西 敏文, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「Au積層形成技術による3軸MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム€(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C5].(口頭)
  110. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 亀井 将太, 益 一哉, 町田 克之
    「高感度静電容量型センサにおけるブラウニアン・ノイズ評価の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C4].(口頭)
  111. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「集積化CMOS-MEMS技術によるSub-1G加速度センサの基礎検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第6回集積化MEMSシンポジウム(同時開催:第31回電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム), 2014年10月20日-22日, くにびきメッセ, 島根県松江市[22am2-C3].(口頭)
  112. 亀井 将太, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMS加速度センサへ向けたsub-1G静電容量型センサの検討」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術), 2014年9月17日-20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-4], pp. 13-065.(ポスター)
  113. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之,
    「積層メタル構造による3軸加速度センサの検討」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術), 2014年9月17日-20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-5], pp. 13-066. (ポスター)
  114. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之,
    「エネルギーハーべスティングデバイスの検討(4)」
    第75回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術), 2014年9月17日-20日, 北海道大学 札幌キャンパス [17p-PA1-6], pp. 13-067.(ポスター)
  115. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 益 一哉, 年吉 洋, 町田 克之
    「マルチフィジックスシミュレータを用いたCMOS-MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P7. (ポスター)
  116. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 亀井 将太, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「積層メタルによる静電容量型3軸加速度センサの基礎検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P5. (ポスター)
  117. 山根 大輔, 亀井 将太, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 益 一哉, 町田 克之
    「集積化CMOS-MEMS加速度センサに向けたSub-1Gセンサ」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2014年7月11日, 豊橋技術科学大学, P4. (ポスター)
  118. 山根 大輔, 松島 隆明, 小西 敏文, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMSへ向けた2軸加速度センサの基礎検討」
    平成26年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, 東京大学生産技術研究所, 2014年5月27日-28日, MSS-14-002.(口頭)
  119. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「MEMS加速度センサによるSub-1G検出の基礎検討」
    平成26年電気学会全国大会, 愛媛大学城北キャンパス, 2014年3月18日-20日, 53-C1 3-128.(口頭)
  120. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベスティングデバイスの検討(2)」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日-20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-3, pp. 13-157.(ポスター)
  121. 小西 敏文, 加賀谷 賢, 山根 大輔, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 益 一哉, 町田 克之, 年吉 洋,
    「エネルギーハーベスティングデバイスの検討(3)」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日-20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-4, pp. 13-158.(ポスター)
  122. 松島 隆明, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサ-2軸MEMS加速度センサの検討-」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日-20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-2, pp. 13-156.(ポスター)
  123. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「Sub-1G MEMS加速度センサの検討」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日-20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-1, pp. 13-155.(ポスター)
  124. 伊藤 浩之, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「RF受信機のためのアレイ型MEMS共振器ミキサの検討」
    第61回応用物理学会春季学術講演会 13.3「Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術」, 2014年3月17日-20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-PG3-5, pp. 13-159. (ポスター)
  125. 高安 基大, 白根 篤史, 李 尚曄, 山根 大輔, 伊藤 浩之, ミイ シャオユウ, 井上 広章. 中澤 文彦, 上田 知史, 石原 昇, 益 一哉,
    「CMOS技術による8-ch 20-V出力MEMSドライバ回路」
    電子情報通信学会 第34回 アナログRF研究会, 2013年11月18日-19日, 東京工業大学 大岡山キャンパス 東工大蔵前会館, 東京都, Vol. RF2013-2, p. 7.(口頭)
  126. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベストデバイスの小型化の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-003].(ポスター)
  127. 伊藤 浩之, 小西 敏文, 山根 大輔, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉,
    「ミキサファーストRF 受信機のためのMEMS 共振器ミキサの検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[7AM2-E-8].(口頭)
  128. 高安 基大, 白根 篤史, 李 尚曄, 山根 大輔, 伊藤 浩之, ミイ シャオユウ, 井上 広章. 中澤 文彦, 上田 知史, 石原 昇, 益 一哉,
    「MEMS 制御用高耐圧CMOS スイッチングドライバ回路」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[7AM2-E-6].(口頭)
  129. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 丸山 智史, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「マルチフィジクスシミュレーションを用いた集積化CMOS-MEMS技術のためのセンサ回路の検討」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-001].(ポスター)
  130. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの特性評価」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム, 2013年11月5日-7日, 仙台国際センター, 宮城県[6PM3-PIM-002].(ポスター)
  131. 【招待講演】
    小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 町田 克之, 益 一哉, 年吉 洋
    「CMOSとMEMS集積のためのシミュレーション解析 -集積化CMOS-MEMSデバイス実現に向けて-」
    電子情報通信学会 シリコン・フォトニクス研究会, 2013年10月18日, 東京工業大学大岡山キャンパス [SIPH2013-99].
  132. 加賀谷 賢, 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「エネルギーハーベストデバイスの検討(1)」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-5], pp. 13-204.(ポスター)
  133. 小西 敏文, 山根 大輔, 松島 隆明, 丸山 智史, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「集積化CMOS-MEMS加速度センサ回路の検討」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-3], pp. 13-202.(ポスター)
  134. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価」
    第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年9月16日-20日, 同志社大学 京田辺キャンパス [18p-P11-4], pp. 13-203.(ポスター)
  135. 佃 真文, 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討」
    平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会, 2013年8月8日, 東京工科大学 蒲田キャンパス [MSS-13-001]. (口頭)
  136. 小西 敏文, 丸山智史, 山根 大輔, 松島 隆明, 町田 克之, 益 一哉, 年吉 洋
    「回路シミュレータを用いた集積化CMOS-MEMSのための統合設計環境の構築」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2013年7月26日, 大阪府立大学21世紀科学研究機構「植物工場研究センター」, P9.(ポスター)
  137. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 加賀谷 賢, 佃 真文, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化」
    応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ, 2013年7月26日, 大阪府立大学21世紀科学研究機構「植物工場研究センター」, P7. (ポスター)
  138. 加賀谷 賢, 小西敏文, 山根 大輔, 本橋 剛, 松島 隆明, 伊藤浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの評価」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-4], pp. 22-015.(ポスター)
  139. 小西 敏文, 山根 大輔, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの設計」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-5], pp. 22-016.(ポスター)
  140. 山根 大輔, 小西 敏文, 松島 隆明, 本橋 剛, 加賀谷 賢, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉,
    「アレイ型MEMS加速度センサの検討」
    第60回応用物理学会春季学術講演会・合同セッションL(MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), 2013年3月27日-30日, 神奈川工科大学 [29p-PA4-6], pp. 22-017.(ポスター)
  141. 【招待講演】
    町田 克之, 小西 敏文, 山根 大輔, 年吉 洋, 益 一哉
    “集積化CMOS-MEMS技術の検討,”
    平成25年度電気学会全国大会・シンポジウム(S24)ワイヤレス通信応用RF-MEMS技術, 2013年3月22日, 名古屋大学 [3-S24-1].
  142. 小西 敏文, 丸山 智史, 三田 信, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉, 藤田 博之, 年吉 洋,
    「ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  143. 山根 大輔, 本橋 剛, 小西敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  144. 本橋 剛, 小西敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「0.35μmCMOS-LSIによるMEMSセンサ用VCO回路の検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  145. 加賀谷 賢, 小西 敏文, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「統合設計技術のためのMEMS加速度センサのモデルの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第4回集積化MEMSシンポジウム 北九州国際会議場・西日本総合展示場, 平成24年10月22日-24日.
  146. 松島 隆明, 小西 敏文, 本橋 剛, 山根 大輔, 伊藤, 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田, 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(3)」
    2012年秋期第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学・松山大学, 2012年9月11日-14日(合同セッションL, 「MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), pp. 22-006.
  147. 本橋 剛, 小西 敏文, 松島 隆明, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討(4)」
    2012年秋期第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学・松山大学, 2012年9月11日-14日(合同セッションL, 「MEMS, NEMSの基礎と応用:異種機能集積化), pp. 22-007.
  148. 山根 大輔, 本橋 剛, 小西 敏文, 松島 隆明, 伊藤 浩之, 石原 昇, 年吉 洋, 町田 克之, 益 一哉
    「アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討」
    応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催 第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ 平成24年7月20日, 岩手県雫石・盛岡セイコー工業株式会社, P5.
  149. 山根 大輔, Winston Sun, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「SOIレイヤ分離設計によるモノリシックRF-MEMS移相器」
    電気学会センサ・マイクロマシン部門 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, タワーホール船堀, 東京都, 平成23年9月26-27日, A2-1.
  150. 山根 大輔, 藤田 博之, 年吉 洋
    「機能レイヤ分離設計によるSOI RF-MEMS受動素子に関する研究」
    固体エレクトロニクス・光エレクトロニクス研究会, グローバルCOE「若手研究」報告会, 東京大学工学部2号館, 東京都, 平成23年3月2日.
  151. 山根 大輔, Winston Sun, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「Ku帯デュアルSPDT RF-MEMSスイッチの開発」
    電気学会センサ・マイクロマシン部門 第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, くにびきメッセ, 島根県松江市, 平成22年10月14-15日, B5-4.
  152. Winston Sun, Daisuke Yamane, Yuheon Yi, Hiroshi. Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita, Kiyotaka Yamashita,
    “A Loaded-Line Phase Shifter Using MEMS Switches,”
    電気学会センサ・マイクロマシン部門 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, タワーホール船堀, 東京都, 平成21年10月15-16日.
  153. 張 鋭, 山根 大輔, 藤田 博之, 年吉 洋
    「RF-MEMS技術による可変メタマテリアル導波路の設計と試作」
    電気学会E部門総合研究会(マイクロマシン・センサシステム研究会), 東京工科大学2009年7月23-24日, MSS-09-3, pp.13-17.
  154. 山根 大輔, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 年吉 洋
    「Ku帯移相器用DPDT型RF-MEMSスイッチの設計と評価」
    平成21年電子情報通信学会全国大会, 愛媛大学 2009年3月17-20日.
  155. 山根 大輔
    「RF-MEMSスイッチの導波路/アクチュエータ分離設計・試作」
    The Second Active Phased Array Antenna Symposium, 東京大学生産技術研究所, 平成20年3月26日.
  156. 山根 大輔, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「導波路/アクチュエータのレイヤ分離構造設計技術によるRF-MEMSスイッチ」
    平成20年電気学会全国大会, 福岡工業大学, 2008年3月19-21日.
  157. 山本 剛司, 清田 春信, 川崎 繁男, 山下 清隆, 石崎 俊雄, 田村 昌也, 山根 大輔, 年吉 洋, 篠原 真毅, 三谷 友彦
    「LTCC基板を用いたアクティブ集積フェーズドアレイアンテナ用移相器の試作」
    電子情報通信学会マイクロ波研究会(MW研究会), 福井大学文京キャンパスアカデミーホール, 2007年12月18日.
  158. 山根 大輔, 高橋 一浩, Winston Sun, 清田 晴信, 川崎 繁男, 藤田 博之, 年吉 洋
    「アクティブフェイズドアレイアンテナの移相器応用RF-MEMSスイッチ」
    平成19年度電気学会センサ・マイクロマシン準部門総合研究会, 筑波大学 大学会館, 平成19年7月2-3日.
  159. 山根 大輔, Winston Sun, 年吉 洋
    「RF-MEMSスイッチに関する研究動向報告」
    The First Active Phased Array Antenna Symposium, 東京大学生産技術研究所, 平成19年3月29日.